Azure NX 266-1000 是款高功率 CW 深紫外激光器,可用于要求苛刻的全天商业应用。Azure NX 的紫外功率是上一代产品的四倍。Azure NX 激光器以大功率光泵浦半导体(OPS)绿光激光器为基础,采用单频操作和波长控制技术,利用 PermAlign 安装技术确保持续可靠的性能。该系统还可通过局域网或 WEB GUI 进行免提操作。这种高功率激光器是半导体检测等应用的适配之选,可以在更短的时间内检测出更小的缺陷。
专为商业应用中的全天运行而设计
1 W 超低噪声 CW 266 nm波长
免提操作
紧凑型 PermAlign 设计,密封封装
单稳频和稳频
产地:美国
功率:1 W
波长:266 nm
线宽:< 500 kHz
波束腰直径:2 ± 0.3 mm
光束腰位置相对于光束出口(m):前挡板 ± 25 % 瑞利范围
光束发散(全角):< 0.3 mrad
光束椭圆度:0.9 至 1.1
散光:± 25 % 瑞利范围
指向稳定性:< ± 5 µrad/ ℃
指向性:(主动稳定)<20 µrad
横向模式:TEM00
M2:<1.3
极化:线性,垂直 ±3°, 200:1
8 小时内输出功率稳定性:< 1 %
有效值噪声(10 Hz 至 500 MHz):< 0.5 %
PTP 噪声(100 秒,1 至 100 MHz):< 3 %
冷启动预热时间:<2 小时
从待机预热时间:<30 分钟
晶体移动后预热时间:<2 分钟
FHG 晶体点寿命:250 小时
FHG 水晶点数量:>30
激光头尺寸(长 x 宽 x 高):225 x 177 x 483 mm3 (8.86 x 6.97 x 19.02 in.3)
电源尺寸(长 x 宽 x 高):452 x 88 x 420 mm3 (17.95 x 3.46 x 16.54 in.3)
冷却器尺寸(长 x 宽 x 高):482 x 134 x 570 mm3(18.98 x 5.28 x 22.44 in.3)
再循环装置尺寸(长 x 宽 x 高):229 x 223 x 276 mm3(9.02 x 8.78 x 10.87 in.3)
激光头重量:25 kg
电源重量:10 kg
冷却器重量:20 kg
循环器重量:10 kg
激光头电缆长度:5 m
工作温度要求:20 至 33 ℃
激光头:水冷闭环激光头冷却器
电源:风冷
再循环装置:水冷式
运输要求:0 至 55 ℃,无冷凝环境
水平方向:± 2°
电源:0.6 kW
激光头消耗功率:1 kW
冷却器消耗功率:1 kW
通信接口/协议:以太网

半导体检测、拉曼光谱、光纤布拉格光栅、光刻技术
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