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以功能强大的 COMPex 准分子激光器为基础的系统是一种灵活的工具，可用于线光束或方形光束场形状的高质量紫外微加工。光学设计、坚固耐用的机械结构以及具有脉冲间高稳定性的准分子激光器可实现准确的结果。其应用包括激光分离（LLO）、掺杂离子活化、烧蚀成片和薄膜退火。可提供 193 nm、248 nm 和 308 nm 三种波长。

高分辨率光学和机械结构确保结果的可重复性

模块化设计，提供量身定制的选项，使用灵活

方形光束和线形光束区域可获得更好的效果

支持所有 COMPex 激光器型号，实现有效加工

产地：美国

磁场几何形状：正方形

基底场尺寸：2 x 2 mm²

光学分辨率：30 μm

工作距离：50 mm

Max重复率：100 Hz

Max 193 nm时的能量密度：2.5 J/cm²

Max 248 nm时的能量密度：7.5 J/cm²

Max 308 nm时的能量密度：6.0 J/cm²

193 nm波长的能量稳定性：2 %，1 sigma

248 nm波长的能量稳定性：1 %，1 sigma

308 nm波长的能量稳定性：1 %，1 sigma

激光剥离分离

掺杂离子激活

烧蚀图案

准分子激光退火