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IndyStar 是一款坚固耐用的高负荷循环准分子激光器，专为高达 2000 Hz 的快脉冲频率应用而设计。基于成熟的 ALMETA 管技术，通过 Semi-S2 认证的 IndyStar 可在 193 nm 和 248 nm 的超短波长上运行数十亿个脉冲。IndyStar 系列专为满足工业激光器各方面的高要求而设计。

1 kHz 和 2 kHz 的重复频率可实现快速处理

TimeLok 和 PowerLok 功能可实现脉冲控制

ALMETA 管设计确保更有效的加工

符合Semi-S2 标准和预混合气体供应，便于生产车间集成

产地：美国

波长：193 nm

标称脉冲能量：8 mJ

标称脉冲功率：8 W

Max脉冲能量：12 mJ

能量稳定性：< 2 % sigma

Max重复率：1000 Hz

光束尺寸 (FWHM, V x H)：(5.7 ± 0.5) x (2.5 ± 0.5) mm

光束发散 (FWHM, V x H)：(2.25 ± 0.5) x (1.0 ± 0.5) mrad

脉冲持续时间 (FWHM)：5 ± 2 ns

冷却方式：空气/水

重量：135 kg (297 lbs.)

激光器尺寸：996.5 x 381 x 828 mm（39.2 x 15 x 32.6 英寸）

电气：230 V（单相）/208 V（两相），50/60 Hz，2100 VA

光罩检测、喷墨喷嘴钻孔、光学测试