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VYPER 系列激光器是专为准分子激光退火 (ELA) 而设计的多光束更高功率准分子激光器。高分辨率移动显示屏制造对质量的要求很高，这就需要高质量的低温多晶硅（LTPS），而只有准分子激光器才能制造出这种产品。这些激光器与高功率 LineBeam 750 (VYPER)、LineBeam 1000 (TwinVYPER) 和 LineBeam 1500 (TriVYPER) 光学镜组相匹配。

高紫外功率，实现高产量应用

高能量稳定性，确保高产量

EquiSwitch 同步提供更低的抖动

激光数据采集，实现过程控制

密封和净化光束路径，可实现长期稳定运行

用于控制和快速数据采集的以太网接口

产地：美国

波长：308 nm

Max稳定脉冲能量：2000 mJ

Max稳定平均功率：1200 W

Max重复率：600 Hz

总能量稳定度 sigma：≤ 0.45 %

脉冲持续时间（FWHM）：24 ± 45 ns

光束尺寸（FWHM，V x H）：35 ±4 x 14.5 ±3 mm²

光束发散（全宽，V x H）：≤4.5 x 1.3 mrad²

Max稳定能量下的动态气体寿命：1 亿脉冲

重量：4400 kg/9700 lbs.

冷却：水，Max 2x 70 l/min（2x 18.5 gal./min）

工作温度：12 至 15 ℃

电气：2 x 39 kVA，三相，400 VAC，50 或 60 Hz

尺寸（长x宽x高）：2800 x 1700 x 2085 ± 20 mm；110 x 66.9 x 82 ± 0.8 英寸

准分子激光退火、脉冲激光沉积