产品介绍
Almatec 一直致力于为半导体行业制造各种用于输送和循环化学品的专用泵。凭借其直通式流道技术，Almatec FUTUR 系列气动双隔膜（AODD）泵更适合满足这些应用的特殊要求。FUTUR系列泵具有自吸和干运转能力，设计紧凑、结构简单，部件数量少。该系列泵的泵体部件由实心块加工而成，确保了长久的使用寿命，并在洁净室生产线中进行清洗、组装和测试。针对每种泵的尺寸和材料选项，均可提供相应的脉动缓冲器。Futur 系列泵属于自吸式气动隔膜泵，可通过调节气量轻松控制。液体直接流经中央壳体内的介质腔室，而气动控制系统和气室则位于侧壳体内。这种设计确保只有机壳的一部分与液体接触，将流路弯头减少至仅两个，更大限度地缩小了接触面积，去除了产品腔室内的滑动部件，并使密封垫圈成为多余。Futur泵的润湿区域内没有O型圈密封。没有拉杆或夹具等紧固元件。产品腔室之间的非接触式级联密封是其主要结构特征。上述所有设计特点均旨在更大限度地减少颗粒的产生。Futur 泵结构紧凑、设计简洁，零件数量少。泵体部件由实心块加工而成，确保了长久的使用寿命。一体式隔膜同样由实心 PTFE 切片加工而成。吸入和排出端口位于前方，从而简化了在狭小空间内的安装。
性能特点
五种材质版本（T/H/E/S/F），适用于不同应用场景
全塑料型号不含金属部件
非接触式级联密封设计
与介质接触区域无 O 型圈密封
直通式流道设计
免维护气控系统
内部气流
无板片和垫片的隔膜，优化了隔膜几何形状
表面密封的缸体阀，拆装简便
无需固定任何部件，包括拉杆、螺母或夹具
可轻松加装隔膜和/或行程传感器
低噪音
选型指南
FUTUR T：耐腐蚀且抗拉强度更高，适用于处理酸和碱
FUTUR H：适用于涉及酸和碱的高温应用
FUTUR E：耐磨损，适用于半导体抛光浆料和CMP工艺
FUTUR S/SH：采用实心316L不锈钢制造，适用于溶剂混合物和脱脂剂
FUTUR F：专为涉及溶剂的高纯度及ATEX应用而设计
产品结构与细节
左侧壳体
隔膜
中央壳体
PERSWING P 空气控制系统
级联套筒
右侧壳体
接头螺母
可选功能与配件
可选配独立脉动阻尼器
技术参数
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产地 |
德国 |
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干吸扬程 |
2.5 mWC；8.2 ft |
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湿吸程 |
9 mWC；29.5 ft |
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Max允许驱动压力 |
6 bar；87 psig |
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Max流量 |
20 l/min；5.3 gpm |
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Max声压级（根据 DIN 45635 24 部分，满载时） |
72 dB(A) |
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公称接口尺寸（NPT） |
1/2 " |
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空气连接（NPT） |
1/4 " |
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中央壳体材质 |
聚乙烯 |
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侧壳体材质 |
聚乙烯 |
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泵的尺寸 |
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长度 |
201 mm；7.9 " |
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宽度 |
150 mm；5.9 " |
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高度 |
168 mm；6.6 " |
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带阻尼器的泵的尺寸 |
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长度 |
201 mm；7.9 " |
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宽度 |
161 mm；6.4 " |
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高度 |
283 mm；11.1 " |
产品尺寸
产品应用
碱性与酸性研磨浆、晶圆抛光（CMP）
津公网安备12010102000946号
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津ICP备13001985号-1
