Almatec 一直致力于为半导体行业制造各种用于输送和循环化学品的专用泵。凭借其直通式流道技术,Almatec FUTUR 系列气动双隔膜(AODD)泵更适合满足这些应用的特殊要求。FUTUR系列泵具有自吸和干运转能力,设计紧凑、结构简单,部件数量少。该系列泵的泵体部件由实心块加工而成,确保了长久的使用寿命,并在洁净室生产线中进行清洗、组装和测试。针对每种泵的尺寸和材料选项,均可提供相应的脉动缓冲器。Futur 系列泵属于自吸式气动隔膜泵,可通过调节气量轻松控制。液体直接流经中央壳体内的介质腔室,而气动控制系统和气室则位于侧壳体内。这种设计确保只有机壳的一部分与液体接触,将流路弯头减少至仅两个,更大限度地缩小了接触面积,去除了产品腔室内的滑动部件,并使密封垫圈成为多余。Futur泵的润湿区域内没有O型圈密封。没有拉杆或夹具等紧固元件。产品腔室之间的非接触式级联密封是其主要结构特征。上述所有设计特点均旨在更大限度地减少颗粒的产生。Futur 泵结构紧凑、设计简洁,零件数量少。泵体部件由实心块加工而成,确保了长久的使用寿命。一体式隔膜同样由实心 PTFE 切片加工而成。吸入和排出端口位于前方,从而简化了在狭小空间内的安装。
五种材质版本(T/H/E/S/F),适用于不同应用场景
全塑料型号不含金属部件
非接触式级联密封设计
与介质接触区域无 O 型圈密封
直通式流道设计
免维护气控系统
内部气流
无板片和垫片的隔膜,优化了隔膜几何形状
表面密封的缸体阀,拆装简便
无需固定任何部件,包括拉杆、螺母或夹具
可轻松加装隔膜和/或行程传感器
低噪音
FUTUR T:耐腐蚀且抗拉强度更高,适用于处理酸和碱
FUTUR H:适用于涉及酸和碱的高温应用
FUTUR E:耐磨损,适用于半导体抛光浆料和CMP工艺
FUTUR S/SH:采用实心316L不锈钢制造,适用于溶剂混合物和脱脂剂
FUTUR F:专为涉及溶剂的高纯度及ATEX应用而设计

左侧壳体
隔膜
中央壳体
PERSWING P 空气控制系统
级联套筒
右侧壳体
接头螺母
可选配独立脉动阻尼器
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产地 |
德国 |
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干吸扬程 |
1 mWC;3.3 ft |
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湿吸程 |
8 mWC;26.2 ft |
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Max允许驱动压力 |
6 bar;87 psig |
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Max流量 |
10 l/min;2.6 gpm |
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Max声压级(按DIN 45635 24部分,满载时) |
72 dB(A) |
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工作温度范围 |
200 ℃;392 ℉ |
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中央壳体材质 |
PTFE-TFM |
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侧壳体材质 |
聚乙烯 |
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公称接口尺寸 (NPT) |
3/8 " |
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空气连接 (NPT) |
1/4 " |
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泵体尺寸 |
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长度 |
185 mm;7.3 " |
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宽度 |
114 mm;4.5 " |
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高度 |
131 mm;5.2 " |
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带阻尼器的泵尺寸 |
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长度 |
185 mm;7.3 " |
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宽度 |
136 mm;5.4 " |
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高度 |
246 mm;9.7 " |
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重量 |
2.3 kg |

酸、碱、高纯度化学品;湿式操作台、循环系统;供应、排放、过滤、循环
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