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Opto Diode 的 SXUV 系列光电二极管专为准确检测极紫外(EUV)辐射、X 射线和电子而设计。这些探测器具有 20 mm² 的大型圆形有源区,在 1 至 200 nm 波长范围内具有高响应能力,是高强度 EUV 应用的适配之选。
高辐射硬度
低噪声性能
宽光谱响应性
单个活动区域
检测范围达 1 nm
暴露在 EUV/UV 条件下仍能保持稳定响应
保护盖板
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产地 |
美国 |
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25 ℃时的电子光学特性 |
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有效面积 10 x 10 mm |
100 mm2 |
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分流电阻,Rsh V = ± 10 mV |
10 MΩ |
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电容,C VR = 0 V |
5 至 15 nF |
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响应时间,tr RL = 50 Ω,VR = 8 V |
6 µs |
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热参数 |
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环境温度 |
-10 至 40 ℃ |
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氮气或真空 |
-20 至 80 ℃ |
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引线焊接温度 |
260 ℃ |
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距外壳 |
0.080 英寸 |
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持续时长 |
10 秒 |
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防护措施 |
临时盖子,保护光电二极管和导线接合处 |

超紫外线光刻技术、X 射线光谱学、同步辐射监测
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