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产品介绍
Entegris 的 GateKeeper GPU 气体纯化器旨在提高对高纯度气体要求较高的微电子应用中的纯度一致性、使用寿命和纯度。利用我们在材料科学方面的研发知识，我们开发出了新一代 FX 气体净化产品，具有更高的价值和性能。
性能特点
过程控制和保护
使用简单
纯度控制低于十亿分之一 (ppb) 级
净化器压降低
使用寿命长 - 提高拥有成本
使用环境温度净化 - 运行时无需加热或供电
对方向（水平/垂直）不敏感
选型指南
可选功能与配件
额外的阀门和管道，以便工艺气体可以绕过净化器
3 阀门和 5 阀门旁路组件（单独销售）
技术参数
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产地 |
美国 |
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净化的气体 |
HF |
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去除杂质 |
H2O |
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出口纯度 |
< 1 ppbV |
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出口颗粒过滤器 |
Wafergard |
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表面处理 |
镍膜或不锈钢膜 |
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过滤范围 |
20 μm 或 0.0015 μm |
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使用寿命 |
一年 |
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入口湿度 |
1 ppm |
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可再生 |
否 |
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危险品 (DG) |
否 |
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工作温度 |
0 至 65 ℃；32 至 149 ℉ |
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泄漏等级 |
1 × 10-9 atm cc/sec He |
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结构材料外壳 |
316L 不锈钢 |
产品尺寸
产品应用
半导体、数据存储、平板显示器、发光二极管、太阳能
津公网安备12010102000946号
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津ICP备13001985号-1
