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澳门银娱游戏平台-澳门（中国）:ENTEGRIS化学空气过滤器VaporSorb CSP-32

Entegris 是微电子行业空气分子污染 (AMC) 控制领域的佼佼者。我们的 VaporSorbCSP-32 化学空气过滤器为曝光工具光学元件和光刻胶提供保护。 CSP-32 过滤器包含碳和聚合...

品牌：ENTEGRIS
型号：VaporSorb CSP-32
下载： datasheet-vaporsorb-csp-32-5763.pdf
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产品介绍

Entegris 是微电子行业空气分子污染 (AMC) 控制领域的佼佼者。我们的 VaporSorb CSP-32 化学空气过滤器为曝光工具光学元件和光刻胶提供保护。 CSP-32 过滤器包含碳和聚合化学介质的独特组合，可针对并去除分子酸（如 HCl、H2SO4 和 HNO3）、酸形成物质（如 SO2）、分子碱（如 NH3、NMP 和胺）和可冷凝有机化合物，定义为沸点大于 150°C (302°F) 和/或分子量大于 120 的化合物。专门设计用于 Entegris 的定制过滤器外壳，例如 E1250、Ex2600 和 E3000、VaporSorb CSP-32 过滤器以串联方式使用，以提供保护，防止意外和升高的污染事件，包括意外的溶剂和显影剂化学品泄漏。