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压电致动器将电能转换为动能(机械能)的装置。压电致动器(压电执行器)是利用压电元件逆压电效应的致动器,由于压电元件会根据施加的电压平滑地伸长,因此内置压电元件的压电致动器能够展现出高分辨率。理论上,通过提高施加电压的精度,可以获得接近无限的分辨率。压电致动器的高分辨率被广泛应用于微细定位及半导体制造等领域。分辨率可达25 nm以下。压电致动器具有小于1 ms的响应速度,能够实现更高的动作速度。压电致动器的高速动作被广泛应用于食品异物剔除及次品检测等领域。不仅能减少卷入现象,还能提升处理速度。
高分辨率
分辨率可达25 nm以下
小于1 ms的响应速度
驱动频率高达每秒2,000次
体积小、驱动力大
将电能直接转换为机械能
耐用性强
无需凸轮机构或减速齿轮
机械接口可根据需求定制
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产地 |
日本 |
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Max开环行程 |
300 μm @ 150 V(固定-自由) |
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公差范围 |
240 至 360 μm |
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工作电压 |
-20 至 +150 V |
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运动方向刚度 |
0.46 N/μm |
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谐振频率(固定-自由) |
1170 Hz |
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公差范围 |
900 至 1440 Hz |
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阻挡力(零位移Max推力) |
138 N |
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公差范围 |
106 至 170 N |
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电容 |
12 μF |
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外形尺寸 |
84 × 10 × 36.8 mm |
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安装接口 |
11 个 M2 螺纹孔,1 个 M5 螺纹孔 |

能源、农业、食品处理
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