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MICROFLEX TECHNOLOGIES密封件MS-028-062-0120

澳门银娱游戏平台-澳门(中国):MICROFLEX TECHNOLOGIES密封件MS-028-062-0120

  • 品牌:MICROFLEX TECHNOLOGIES
  • 型号:MS-028-062-0120
  • 下载: MICROFLEX TECHNOLOGIES密封件MS-028-062-XXXX.pdf
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产品介绍

MicroSeal 系列是高纯度、高完整性密封件的完整产品线,适用于工业和半导体应用,包括低流量、高流量、高压和低压降。我们还提供孔口密封件和盲孔密封件,用于封闭备用端口。其他主要优点包括高清洁度和无源、富铬、低 Ra 表面光洁度。MicroSeals 可改装为标准的 “C ”型密封系统。我们的密封件符合 SEMI 标准 PR 3.1、3.5 和新的大流量标准。MicroSeal 的设计具有更柔软、更顺从的界面,可根据配合表面自行成型,确保泄漏密封性,并在不牺牲回弹特性的情况下去除虚拟泄漏。这是市场上具有高回弹性的高顺应性密封件。MicroSeals 的回弹率是同类密封件设计的十倍之多,而且对空腔公差的容忍度特别高。这确保了密封面在高压力、温度和振动条件下保持紧密接触。所有这些特性都是在低压缩率的情况下实现的,从而确保了较高的通过。

性能特点

Microseal 28 型

60 系列 semi pr3.1 流体输送系统

0.0120 " 孔径刻度

优化的内径,可在中流量、高流量、蒸汽和液体输送系统中实现低压降

低压缩率,确保气体/液体输送系统的高可靠性

密封回弹力是传统设计的 10 倍,可在冲击和振动条件下实现泄漏完整性

符合 SEMI PR 3.1 标准

高纯度双熔体 316 不锈钢

洁净被动式富铬表面

5 Ra 润湿表面处理

减免了高成本的返工和报废现象

产品结构与细节

设计适用于直径为 0.290±0.002 的沉孔

"a",有关孔口

孔口 "a "的范围为 0.0120 至 0.1700"

孔口 "a "取代零件号中的 xxxx

技术参数

产地

美国

孔口 "a "

0.0120 "

孔口 "a "公差

± 0.0005 "

材料

铬/铁;316L VIM VAR

硫含量

> 0.004 %

铬/铁比率

2.5

氧化铬厚度

> 20 埃

氧化物厚度(减碳)

35 角

表面粗糙度

< 1 微英寸;10 微英寸

缺陷/每个位置

< 1 个缺陷;< 25 个缺陷

泄漏测试,设计压力

5000 psig

外泄漏

< 1 x 10-9 atm·cc/sec He

暴露于 5000 psig 后,100 psig外泄漏

< 7 x 10-11 atm·cc/sec He

耐压性能

7500 psig

爆裂测试(静水压力)

静水压测试液体不得可见

部件密封性

< 7 x 10-11

> 20,000 psig 压力

爆裂

振动

MIL-SPEC 810E  1-3 章 1 类测试

冲击-跌落测试增量

25G

无冲击规格泄漏

<1 x 10-9 atm·cc/sec He

经过类别测试后泄露

<7 x 10-11 atm·cc/sec He

冲击 > 294G

无泄漏

预加载防护系数

扭矩设置

80 % 和 120 %

内侧泄漏

< 1 x 10-9 atm·cc/sec He

扭矩

10、15、24、30、36 和 48 英寸/磅

内侧泄漏

< 7 x 10-11 atm·cc/sec He

可重复性

20 次

扭矩

10、24 和 48 英寸/磅

扭矩测试泄露

< 5 x 10-11 atm·cc/sec He

温度循环

室温

100 ℃;-10 ℃

密封

三组双端口

周期

五个

内侧泄漏

< 7 x 10-11 atm·cc/sec He

温度冲击测试

-196 至 200 ℃(直接插入液态 N2

< 7 x 10-11 atm·cc/sec He 压力

无泄漏

压缩载荷测试

测量载荷

0.062 压缩到 0.050 英寸

标准密封

685 磅

低负荷密封

618 磅

产品应用

工业、半导体


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