产品介绍
16.2 HV摆动隔离阀兼具可靠的隔离性能与低颗粒计数及低颗粒活化特性。其卓绝的颗粒性能得益于平滑的启闭动作。
该阀门特别适用于蒸发器和溅射等恶劣工艺环境中的隔离需求。16.2阀提供三位置气动单作用带闭合弹簧或标准气动单作用带闭合弹簧两种配置。
其特殊分体式阀体设计无需拆卸管道连接或工艺腔连接即可维护。纤薄结构可直接安装于工艺腔体，省去传统腔体-阀门-泵连接所需的额外容积。
凭借坚固设计与多样化配置选项，16.2系列可轻松集成于各类真空工艺流程。
该系列已在全球数百套批量及在线生产系统中投入使用，经受各种工艺条件考验，其卓绝性能在各方面均得到充分验证。
16.2 HV摆动隔离阀提供铝制版本，阀体经硬质阳极氧化或镀镍处理，配备符合ISO-F、ASA-LP和JIS标准的法兰连接件。可集成客户定制法兰。其他选项包括粗排（旁通）口、排气口或仪表接口、加热解决方案，以及带硼硅酸盐玻璃或蓝宝石玻璃视窗的阀板。
性能特点
在恶劣工艺环境中实现可靠隔离
低冲击运行，低颗粒活化
工艺惰性——极低残余脱气量（RGA）
高运行时间
低运行成本
可根据工艺要求调整
技术参数
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产地 |
瑞士 |
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尺寸 |
DN 200 (8“)，DN 250 (10”)，DN 320 (12")，DN 350 (14“)，DN 400 (16”)，DN 500 (20") |
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执行器 |
气动型：单作用带关闭弹簧（常闭） |
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三位置气动型：单作用带关闭弹簧（常闭） |
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阀体材质 |
铝合金 |
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穿壁件 |
旋转式穿壁件 |
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标准法兰 |
ISO-F、ASA-LP、JIS |
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泄漏率 |
阀体、阀座：< 1 × 10?? mbar·l/s |
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压力范围 |
1 × 10?? mbar 至 1.2 bar (abs) |
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阀板差压 |
≤ 1.2 bar |
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开启差压 |
DN 200：≤ 10 mbar |
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DN 250 - 500：≤ 5 mbar |
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初次维护前循环次数 |
200 000 |
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温度 |
阀体：≤ 120 °C |
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执行器：≤ 80 °C |
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电磁阀：≤ 50 °C |
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位置指示器：≤ 80 °C |
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加热/冷却速率 |
≤ 30 °C·h?¹ |
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材质 |
阀体、阀板、密封环 |
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DN 200-400：EN AW-5083 (3.3547)，EN AW-6082 (3.2315) |
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DN 500：EN AC-42100 (3.2371) |
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导管（与介质接触部件）：AISI 303 (1.4305), AISI 304 (1.4301) |
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密封件 |
阀盖、阀板、动力密封、导管：氟橡胶（Viton） |
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安装位置 |
任意 |
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电磁阀 |
24 V直流，5.4 W（其他规格可定制） |
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位置指示器 |
电压：≤ 50 V交流/直流 |
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电流：≤ 1.2 A |
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阀门位置指示 |
视觉（机械式） |
产品应用
半导体制造
蒸发与溅射设备：在真空镀膜工艺中，16.2阀门隔离不同工艺腔体，防止材料交叉污染，同时低颗粒特性保障镀膜质量。
晶圆传输系统：作为真空传输阀，其紧凑设计与高可靠性确保晶圆在真空环境中安全传输，减少生产中断风险。
科研与高真空实验
同步加速器与粒子加速器：阀门需在恶劣真空条件下长期稳定运行，16.2系列的低放气率与高密封性满足实验需求。
表面分析设备：在X射线光电子能谱（XPS）等分析中，阀门隔离真空系统与外界，避免样品污染，确保数据准确性。
工业真空工艺
真空灭菌设备：阀门准确控制气体流量，确保灭菌过程真空度稳定，提升灭菌效率。
津公网安备12010102000946号
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津ICP备13001985号-1
