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VPM-7 SmartPirani ATM 传感器专为半导体负载锁定压力控制和其他需要准确测量相对于大气环境压力的真空应用而设计。与传统的负载锁定传感器和其他负载锁定传感器解决方案相比，它具有同类更高的性能，测量范围更广、精度更高、测量周期更快。SmartPirani ATM 基于一项正在申请许可的技术，该技术将导热性皮拉尼热损失真空计的可用测量范围扩大了 1-3 倍，从而确立了新的标准。一体化多传感器传感器解决方案，VPM-7 是一款多传感器传感器，具有四个压力输出，结合了气压环境传感器、宽量程热损耗皮拉尼真空计、膜片传感器和相对于大气压力的信号，可优化现代负载锁定真空室的压力控制。隔膜传感器的读数不受气体影响，Abs压力范围为 2 至 1333 mbar。

1E-6 至 1333 mbar 宽测量范围

MEMS Pirani 和压电传感器组合

独立于 2 至 1333 mbar的气体

用于负载锁定压力控制的大气切换功能

数字、模拟和设定点控制功能

1 RS-232 发送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 电源电压 12-30 VDC

4 电源电压 -（返回）

5 模拟电压信号 +

6 模拟电压信号 - （返回）

7 继电器 1 NO（常开触点）

8 继电器 1 公共端

9 继电器 1 NC（常闭触点）

10 继电器 2 NC（常闭触点）

11 继电器 2 公共端

12 继电器 2 常开（常开触点）

13 继电器 3 常开（常开触点）或模拟输出 2

14 继电器 3 公共端

15 继电器 3 常开（常开触点）

PRG-WPRS2-15DS-01 RS-232 转 USB、15 针 HD D-sub、电源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-15DS-01 RS-485 至 USB、15 针 HD D-sub、电源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS2-9DS-01 RS-232 转 USB，9 针 D 型超微，电源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-9DS-01 RS-485 通讯器 USB，9 针 D 型超微，电源 (90 至 230 VAC)

产地：丹麦

法兰：DN16KF

传感器：MEMS Pirani / Piezo / Atm.

传感器保护：标准

通讯：RS-485

输出：MKS900

单位：mbar

设定点：3 个继电器

连接器：15p HD D-Sub

测量范围：1E-6 至 1333 mbar

工作环境温度：-20 至 +50 ℃

介质温度：-20 至 +50 ℃

储存环境温度：-40 至 +120 ℃

烘烤温度（非工作）：+120 ℃

Max介质压力Abs：10 bar

安装位置：任意

防护等级，EN 60529/A2：2013：IP 40

湿度，IEC 68-2-38：98 %，无冷凝

半导体行业、分析仪器、绿色和可持续技术、工业涂料、航空航天工业