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SENS4 A/S VPM-7 SmartPirani ATM传感器专为半导体负载锁压力控制和其他需要准确测量相对于大气环境压力的应用而设计。SENS4 A/S VPM-7 提供了同类中更好的性能，具有更宽的测量范围、更高的精度和比传统负载锁传感器更快的测量周期，以及其他负载锁传感器解决方案。SENS4 SmartPirani ATM通过将热导率Pirani热损失真空计的可使用测量范围扩展1-3个数量级，建立了新的标准。 SENS4 VPM-7 是一款多传感器变送器，具有四个压力输出：一个气压环境传感器、一个宽范围热损失 Pirani 传感器、一个膜片传感器，以及一个与大气压力相关的信号，它们共同作用于现代负载锁真空腔，以优化准确的压力控制。膜片传感器提供从 2 到 1333 mbar（1.5 到 1000 Torr）的气体独立读数。

15 针 HD D-Sub 公头/双模拟输出

1E-6 至 1333 mbar 宽测量范围

MEMS Pirani 和压电传感器组合

独立于 2 至 1333 mbar的气体

用于负载锁定压力控制的大气切换功能

数字、模拟和设定点控制功能

1 RS-232 发送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 电源电压 12-30 VDC

4 电源电压 -（返回）

5 模拟电压信号 +

6 模拟电压信号 - （返回）

7 继电器 1 NO（常开触点）

8 继电器 1 公共端

9 继电器 1 NC（常闭触点）

10 继电器 2 NC（常闭触点）

11 继电器 2 公共端

12 继电器 2 常开（常开触点）

13 继电器 3 常开（常开触点）或模拟输出 2

14 继电器 3 公共端

15 继电器 3 常开（常开触点）

PRG-WPRS2-15DS-01 RS-232 转 USB、15 针 HD D-sub、电源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-15DS-01 RS-485 至 USB、15 针 HD D-sub、电源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS2-9DS-01 RS-232 转 USB，9 针 D 型超微，电源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-9DS-01 RS-485 通讯器 USB，9 针 D 型超微，电源 (90 至 230 VAC)

产地：丹麦

真空法兰/传感器保护：DN16KF

数字接口：RS-485 / S4-Connect (9 针和 15 针 D-sub)

模拟输出：1.0 至 9 VDC 1 VDC/Dec (MKS 901P/925/910)

单位：torr

设置点：3 个固态继电器

连接：15 针 HD D-Sub 公头/双模拟输出

测量范围：1E-6 至 1333 mbar

模拟输出分辨率：16 位 (150 μV)

模拟输出更新率：124 Hz

响应时间（ISO 19685:2017）：<20 ms

温度补偿：+10 至 +50 ℃

固态继电器设定点范围：5×10^-6 至 1333 mbar（3.75×10^-6 至 1000 Torr）

固态继电器触点额定值：50 V、100 mArms / mADC

固态继电器认证：UL 认可：文件 E76270；CSA 认证：证书 1175739；EN/IEC 60950-1 认证

工作环境温度：-20 至 +50 ℃

介质温度：-20 至 +50 ℃

储存环境温度：-40 至 +120 ℃

烘烤温度（非工作）：+120 ℃

Max介质压力Abs：10 bar

安装位置：任意

保护等级，EN 60529/A2：2013：IP 40

湿度，IEC 68-2-38：98%，无冷凝

真空热处理炉、空间环境模拟、质谱仪、半导体、电子显微镜、PVD镀膜