产品介绍
Ichor Systems 生产全系列常规、模块化隔膜阀、模块化计量阀和止回阀，其性能和纯度均达到或超过所有行业标准。我们的常规隔膜阀 (CDV) 系列可为常规安装系统提供高可靠性和价值，而我们的模块化隔膜阀 (MDV) 系列则专为模块化表面安装系统而设计。我们所有阀门的设计均符合 SEMI 规范，具有良好的可靠性和性能，并与市场上所有竞争系统兼容。客户须确保所选部件是符合其防护性能的适当部件，同时考虑到气体/流体输送系统的材料兼容性、操作条件、正确安装等因素。
性能特点
模块化计量阀
1.125" C 型密封
3 端口，低流量
316L SST SEMI F20 VIM/VAR
高纯度
选型指南
纯度
材料
流速
端口数
密封类型
底座尺寸
技术参数
产地：美国
工作压力：真空至 200 psig
Max流量系数：0.025 cv
流量：小流量
孔径：0.032 英寸
工作温度：-20 至 200 ℃（13 至 392 ℉）
底座尺寸：1.125 英寸
密封类型：C 形密封
端口数：3 个端口
阀体材料：316L SST semi F20 VIM/VAR
纯度等级：高纯度
膜片材料：elgiloy
润湿表面处理：10 ra
清洗：超声波清洗和电抛光
驱动类型：手动旋转
爆破压力：3000 psig
产品尺寸
产品应用
流体输送、半导体、制造业、集成解决方案
津公网安备12010102000946号
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津ICP备13001985号-1
