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澳门银娱游戏平台-澳门（中国）:BOC EDWARDS真空隔离阀VIV25EKA
VIV 真空隔离阀旨在与 nXDS、XDS、nXLi 和 nXRi 干式初级泵一起使用，是一种高电导、快速作用的高真空隔离阀，旨在防止蒸汽或颗粒从前级泵移动到工艺室 . 当 VIV 关闭时，前级泵排气...
- 品牌：BOC EDWARDS
- 型号：VIV25EKA
- 下载： BOC EDWARDS-真空隔离阀-VIV25EKA.pdf
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产品介绍
VIV 真空隔离阀旨在与 nXDS、XDS、nXLi 和 nXRi 干式初级泵一起使用，是一种高电导、快速作用的高真空隔离阀，旨在防止蒸汽或颗粒从前级泵移动到工艺室 . 当 VIV 关闭时，前级泵排气。 当泵停止或停止时，VIV 可保护工艺室不被通风。 当前级泵重新启动时，阀门将在 VIV 内的压力下降时缓慢打开，从而大限度地减少任何压力爆裂的影响。
性能特点
- VIV 阀具有高传导性
- 快速关闭动作
- 断电保护
- 灵活的安装选项
- 不限制主泵性能
- 防止蒸汽或微粒从前级泵迁移到工艺室
- 防止电源故障时工艺室排气
技术参数
- 关闭压差:>200 mbar
- 开启压差:<200 mbar
- 开启开关时间:<15s
- 用于合闸切换时间:<0.1s
- 响应时间切换时间:<0.05s
- 机身材质:铝
- 密封材料:氟橡胶
津公网安备12010102000946号
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津ICP备13001985号-1
