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SXUV 系列极紫外（EUV）增强型检测器具有良好的 13.5 纳米光刻能力，在 1 到 190 nm的极紫外曝光条件下具有稳定的响应性，是进行核心的极紫外光测量的适配之选。温度超过这些参数可能会在有源区产生氧化物生长。随着时间的推移，对低能量辐射和 150 nm 以下波长的响应能力将受到影响。装运时附带临时盖板，以保护光电二极管阵列和导线键合。取下盖子之前，请阅读应用说明 “AXUV、SXUV 和 UVG 检测器的处理注意事项”。

圆形有效区域

适用于 EUV 检测

高速

栅线 5 微米，间距 100 微米

高辐射硬度

高光子通量鲁棒性

TO-8 封装

防护盖板

产地：美国

零件编号：ODD-SXU-004

有源面积：19.7 mm²

25 ℃ 时的电光特性

有源面积 Φ5.01 mm：20 mm²

反向击穿电压V_R ，I_R = 1 µA：160 V

电容C ，V_R = 0 V：500 至 1500 pF

上升时间 R_L = 50 Ω，V_R = 150 V：3.5 ns

暗电流 V_R = 150 V：100 nA

热参数

环境温度：-10 至 40 ℃

氮气或真空：-20 至 80 ℃

引线焊接温度：260 ℃

引线焊接：距离外壳 0.080 英寸，持续 10 秒

航空航天、汽车、生物技术、食品加工、军事/国防、工业、半导体设备制造、测试和测量