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等离子体技术是一种能够实现人手无法完成的精细加工的技术。

等离子技术对于丰富我们的未来是不可或缺的，例如电视和手机的小型化、家用电器的复杂化和自动驾驶系统。

我们的等离子体技术正被用于不断加速和发展的半导体和LCD制造领域。我们也在开发应用等离子体技术的新产品。

• 与等离子体处理系统设备兼容
• 高压电源和振荡器重量减轻
• 使用低漂移磁控管
• RS485（标准设备）用于设备和微波电源控制
• 与其他数字通信兼容
• 它可以安装在各种环境中，因为它不受高压电源和振荡器的废热影响
• 内置隔离器（变送器+隔离器集成）

• 接收功率：3ΦAC200V±10%50/60Hz 20A或以下
• max输出功率：3000W
• 输出线性精度：在设定功率的±3%以内
• 输出稳定性：电源电压波动±10%时，输出稳定性在±1%以内
• 输出纹波：5%p-p或更低
• 冷却方式：水冷
• 尺寸：宽480x高21.5xD631（毫米）
• 重量：约30kg
• 可变输出范围：300W～3000W

*注：根据磁控管的特性，在600W或更低的输出功率下，输出线性精度无法得到保证

• 产地：日本