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MICROFLEX TECHNOLOGIES高流动性基板MSA-043-315

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Microflex由半导体行业人士于2001年创立,迅速成为模块化表面安装气体面板密封件的主要供应商。Microseal系列产品采用了独特的蜂窝设计,与传统金属垫圈相比,它可以在低的压力下实现完全压缩...
  • 品牌:MICROFLEX TECHNOLOGIES
  • 型号:MSA-043-315
  • 下载: MICROFLEX TECHNOLOGIES高流动性基板MSA-043-315.pdf
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产品介绍

MicroSeal 系列是高纯度、高完整性密封件的完整产品线,适用于工业和半导体应用,包括低流量、高流量、高压和低压降。我们还提供孔口密封件和盲孔密封件,用于封闭备用端口。其他主要优点包括高清洁度和无源、富铬、低 Ra 表面光洁度。MicroSeals 可改装为标准的 “C ”型密封系统。我们的密封件符合 SEMI 标准 PR 3.1、3.5 和新的大流量标准。MicroSeal 的设计具有更柔软、更顺从的界面,可根据配合表面自行成型,确保泄漏密封性,并在不牺牲回弹特性的情况下去除虚拟泄漏。这是市场上具有高回弹性的高顺应性密封件。MicroSeals 的回弹率是同类密封件设计的十倍之多,而且对空腔公差的容忍度特别高。这确保了密封面在高压力、温度和振动条件下保持紧密接触。所有这些特性都是在低压缩率的情况下实现的,从而确保了较高的通过。

性能特点

3 孔大流量

C 型密封件组件

1.5" 基质 / K1H

优化的内径,可在中流量、高流量、蒸汽和液体输送系统中实现低压降

低压缩率,确保气体/液体输送系统的高可靠性

密封回弹力是传统设计的 10 倍,可在冲击和振动条件下实现泄漏完整性

符合 SEMI PR 3.1 和 3.5 标准

高纯度双熔体 316 不锈钢

洁净被动式富铬表面

5 Ra 润湿表面处理

减免了高成本的返工和报废现象

技术参数

产地

美国

材料

>0.004 % 硫含量

铬/铁比率

铬/铁比率 2.5

氧化物厚度(减碳)

CrO 厚度(减碳)35 角

表面粗糙度

< 1 微英寸

缺陷

每个位置少于 1 个缺陷

泄漏测试,设计压力

5000 psig

外侧泄漏

< 7 x 10-11 atm·cc/sec He,100 psig,暴露于 5000 psig 后

压力测试7500 psig 时的防爆

看不到流体静压测试液

防漏部件密封性

< 7 x 10-11

爆裂测试(静水压)

在 > 20,000 psig 压力下爆裂

振动-MIILSPEC 810E Sec 1 类别 1

内侧泄漏

经过 MIL-SPEC810E Sec 1-3 类别 1 测试

< 7 x 10-11 atm·cc/sec He

冲击 - 以 25G 为增量进行跌落测试

冲击超过 > 294 G - 无泄漏

内侧泄漏

< 7 x 10-11 atm·cc/sec He

扭矩

10、15、24、30、36 和 48 英寸/磅

可重复性

使用 20 套新密封件制作和重新制作基体

通过内侧泄漏

< 7 x 10-11 atm·cc/sec He,在每次制作和重新制作以及 20 次重新制作循环之后以 10、24 和 48 英寸/磅扭矩进行测试

扭矩测试后,内侧泄漏

< 5 x 10-11 atm·cc/sec He

温度循环

板内泄漏

在每个温度下通过泄漏测试 <7x 10-11 atm·cc/sec He

温度冲击测试

-196 至 +200 ℃(直接插入液态 N2 中)

<7 x10-11 atm·cc/sec He 条件

无泄漏

标准密封

685 磅

产品尺寸

产品应用

工业、半导体


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