澳门银娱游戏平台-澳门（中国）:SMC化学液用气控阀 JLV系列
阅读次数：821 发布时间：2025-03-28 18:00:07
SMC最新推出的JLV系列化学液用气控阀，通过结构设计的创新优化，显著降低了阀门关闭过程中产生的冲击，进而有效减少微尘生成。该阀体精选高纯PFA材质，具备优异的耐化学腐蚀性能，可适应更高的工作压力与背压条件。在结构设计上兼顾紧凑性与空间节约，适用于涂胶显影、化学机械抛光（CMP）、清洗工艺、湿法蚀刻以及药液输送等各类湿法工艺环节，尤其可满足28nm及以下更高精尖制程对微粒控制的严苛要求。
典型应用场景包括蚀刻设备、CMP系统、涂胶显影机及清洗装置等。
其技术亮点主要包括：
微尘控制能力增强：通过对先导排气结构的优化，显著削弱了阀门闭合时的冲击效应。
材质抗化学腐蚀：高纯PFA确保其在多种化学液环境中保持稳定。
结构紧凑：有效节约设备安装空间。
高压适应性提升：工作压力与背压范围均实现扩展并实现共通化设计。工作压力覆盖0–0.5 MPa（较以往产品最大提升66%），背压支持0–0.5 MPa（较前代产品最大提高150%）。
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