AI技术正为电子产品带来全新变革,随着产品迭代步伐加快,半导体行业也迎来新一轮发展机遇。本文将为大家解析堡盟OHDM 16光电传感器在晶圆上下料机定位检测中的创新应用。
晶圆作为芯片制造的核心基材,其摆放与移载工序是半导体生产的首要环节。为匹配后续芯片制造工艺,晶圆上下料通常采用自动化方案,由机械手完成抓取操作。然而晶圆本身质地脆弱,在搬运过程中极易因轻微碰撞导致损伤。

在实际应用场景中,晶圆以单片形式有序存放在专用传输盒内,通过机械臂逐片提取并传送至下一工序。这就要求传输盒必须配备高精度晶圆定位传感器,其检测精度直接决定整个系统运行的流畅程度。
堡盟OHDM 16光电传感器在此环节展现出卓越性能。该产品基于漫反射与背景抑制原理,通过激光扫描实现晶圆边缘精确定位。即使面对厚度仅0.1-0.8mm的超薄晶圆,或是具有弧形光亮边缘的复杂工况,依然能保持稳定可靠的检测效果。
这款传感器的卓越表现源于其革新性设计,这些独特优势使其成为晶圆检测领域的理想解决方案:
1、专为晶圆边缘侧面检测设计的特殊版本
2、具备123-143mm固定感应范围,满足标准化安装需求
3、采用坚固金属外壳结构,大幅提升设备耐久性
4、激光焦点处重复定位精度<0.1mm,确保机械手抓取动作的精准可靠
5、搭载二级线激光检测系统,对高反光表面具有优异适应性,杜绝误检漏检
6、集成的背景抑制功能确保位置控制的极致稳定性
7、通过这项创新应用,不仅有效保护了脆弱的晶圆材料,更显著提升了半导体前道工序的生产效率与良品率。
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