澳门银娱游戏平台-澳门（中国）

超高纯（UHP）压力传感器作为半导体与光伏行业特种气体输送系统的核心部件，广泛应用于特气柜、工艺设备配气柜等关键环节，直接关系到气体输送的精确性与安全性。

相较于常规压力传感器，UHP压力传感器具备以下几项核心特性：

首先，其量程覆盖范围广，需同时满足机台端25~50 psi绝压、气路分配箱100~250 psi绝压或复合压，以及特气柜中250 psi至3000~5000 psi绝压或复合压的多种测量需求。

其次，在生产过程中对洁净度有严格要求。为确保传感器接液部件不受污染，需在全量程范围内使用高纯氮气进行标定或校准，并便于后续实施洁净包装。

此外，UHP压力传感器通常要求精度达到+/- 0.2%FS或0.25%FS，因此必须配备高精度的标定系统以实现可靠的线性校正。同时，其低温漂补偿性能也需高度可靠，确保在吹扫过程中不出现零点漂移。

福禄克8270A模块化气体压力控制器具备宽范围、多量程与高精度的气压控制能力，控压范围覆盖真空至44 MPa（约6600 psi），测量精度高达0.01%FS或0.007%读数，稳压精度为0.002%FS。该设备最多可同时搭载五个测压模块，不仅无量程比限制，还能实现自动切换。仅需单台8270A控制器，即可完成全量程UHP压力传感器的标定与温补任务，帮助生产企业构建低成本、高效率的柔性标定体系，适应小批量、多量程的精益生产模式。

以标定100 psi、250 psi和5000 psi三个量程的UHP传感器为例，仅需一台8270A配合6000 psi与300 psi两个测压模块，即可覆盖所有标定需求，系统综合精度优于各量程的0.03%。

此外，8270A主机集成电磁阀驱动功能，可通过控制三路电磁阀的启闭，在一次升降温循环中完成多量程传感器的混合标定：

1、标定100 psi量程时，三路电磁阀全部开启，系统自动选用300 psi模块实施控压与稳压；

2、标定250 psi量程时，关闭上路电磁阀，系统继续使用300 psi模块完成控制；

3、标定5000 psi量程时，仅保留下路电磁阀开启，系统自动切换至6000 psi模块进行稳压与控压。